主動(dòng)隔振臺(tái)是一款緊湊型模塊化的主動(dòng)減震系統(tǒng)，可在寬頻率范圍內(nèi)為電子顯微鏡和類似的大型研究?jī)x器提供業(yè)界的主動(dòng)隔振性能（從0.5Hz開始）。平臺(tái)通過消除影響測(cè)量的破壞性低頻振動(dòng)噪聲，幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益，并且平臺(tái)采用了低調(diào)的模塊化設(shè)計(jì)，無(wú)需為大多數(shù)儀器（包括大多數(shù)SEM）安裝所需的升降設(shè)備，從而簡(jiǎn)化了安裝過程。有利于為基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等領(lǐng)域所用精密儀器創(chuàng)造穩(wěn)定的測(cè)量環(huán)境。
工作原理：
通過對(duì)傳入振動(dòng)施加反方向的力來(lái)立即消除振動(dòng)。傳感器不斷監(jiān)測(cè)振動(dòng)，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力，并繼續(xù)產(chǎn)生的振動(dòng)隔離狀態(tài)。主動(dòng)式隔振臺(tái)擅長(zhǎng)于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。
主動(dòng)隔振臺(tái)采用隔振技術(shù)，適用于任何研究情況下，可以隔離6個(gè)自由度方向上的振動(dòng)，包括水平和垂直方向。平臺(tái)利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來(lái)傳感外界傳入的振動(dòng)，通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號(hào)發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號(hào)來(lái)消除傳入振動(dòng)。隔振系統(tǒng)利用一個(gè)反饋回路來(lái)消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振?？蔀閷?shí)驗(yàn)室中對(duì)震動(dòng)敏感的設(shè)備如電鏡，光學(xué)器件等精密儀器隔離來(lái)自地面的震動(dòng)，提供穩(wěn)定的測(cè)試環(huán)境。
性能優(yōu)勢(shì)：
1、系統(tǒng)主動(dòng)檢測(cè)輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除；
2、六個(gè)空間方向的自由隔振；
3、系統(tǒng)內(nèi)部反饋回路抑制所有機(jī)械共振；
4、低頻隔振性能；
5、無(wú)低頻共振、無(wú)空氣要求。
